英特尔订购顶级光刻机 斥资3.4亿美元需数年后发货

近年来，对10nm以下先进制程的需求不断增长，也增加了EUV曝光设备的供应。由于EUV设备加工复杂，ASML年产量也很小。最近，ASML 正专注于提高其产能和供应量。在全球范围内，作为EUV光刻机的唯一供应商，ASML在业内受到的关注度越来越高，特别是以台积电为代表的先进制程发展得风生水起的当下，ASML的重要性与日俱增。

为了从台积电手中夺回“全球最先进芯片制造商”的地位，英特尔1月19日向荷兰光刻机制造商阿斯麦（ASML）订购了一款最先进的芯片制造机（光刻机）。此外ASML还宣布，目前已经收到数个有五台新型光刻机的订单，此外还有企业订购了一台仍在设计中、需要数年时间才能发货的顶级光刻机。

阿斯麦今日在财报电话会议上称，该公司目前已收到5台下一代光刻机的订单，以及一台仍在设计中的更新型号的订单。随后，阿斯麦和英特尔在另一份联合声明中称，英特尔就是更新型号光刻机的买家。

阿斯麦最先进的商用机器被称为“EUV光刻系统”，使用“极紫外光”（EUV）光波来绘制计算机芯片的电路的，其大小相当于一辆公交车，每台成本约为1.5亿美元。一家先进芯片工厂通常需要9~18台这样的设备。因此，光刻机是芯片制造商最大的资本开支之一。

当前，阿斯麦是此类机器的唯一制造商，其EUV客户包括全球最大的芯片制造商，如台积电、三星和英特尔等。

阿斯麦称，现已收到5台下一代光刻机的订单，这5台机器被称为“HighNA”EUV，将采用不同的镜头系统，数值孔径（NA）更大，每台成本约为3亿美元。第一批原型将于2023年发货，预计要到2025年才能用于批量生产。

当前，英特尔正试图从领头羊台积电手中夺回“最小、最快芯片制造商”的地位。之前，英特尔曾自称是阿斯麦“HighNA”光刻机“EXE:5000”的第一个买家。EXE:5000预计将在未来十年助制造商缩小芯片尺寸。还称，还将成为阿斯麦第一台EXE:5200（即仍在设计中的更新型号产品）的买家。与EXE:5000相比，EXE:5200预计将带来几项改进，包括更高的生产率。对于该设备，两家公司都没有提到价格。

“英特尔的重点是保持在半导体光刻技术的前沿，在过去一年里，我们一直在建设我们的EUV专业知识和能力。”英特尔执行副总裁和技术开发总经理Ann Kelleher说。