EUV光刻机耗能巨大 芯片制造商面临挑战

据彭博社报道，ASML新一代EUV每台耗电约1百万瓦，三星、台积电等芯片制造大厂能源消耗巨大；台积电对化石燃料高度依赖，2025年耗能估占中国台湾省的12.5%。

世界仅此一家的EUV公司ASML，旗下新一代的EUV光刻机耗资高达1.5亿美元，包含10万个部件和长达2公里的布线。EUV光刻机体现着更先进芯片的制造过程正变得复杂和能源密集。ASML当前每台EUV的额定耗电量约为1百万瓦，约为前几代设备的10倍，但由于没有替代品来制造最先进的半导体，芯片行业可能成为减少全球碳排放的重要绊脚石。

报道称，台积电拥有业界最多的 80 台 EUV 设备，而且正在安装新一代设备，是吃电大户，预计 2025 年将占中国台湾省整体能源消耗的 12.5%，较 2020 年的 6% 高一倍还多。除了台积电外，美光在中国台湾也使用至少一种 EUV 设备。彭博分析师 Charles Shum 预估，在 3 年内，台湾代工厂四分之一的芯片制造都需要 EUV 设备。

据悉，台积电生产对于环境的影响程度，主要取决于发电来源。业内人士指出，中国台湾有许多需要运行如此高耗能设备的芯片厂，使得可再生能源变得重要和紧迫，但台湾却严重依赖化石燃料。据报道，中国台湾 2016 年制定一个目标，到了 2025 年，其中 20% 电力来自可再生能源。然而，从 7 月的最新能源审查显示，截至 2021 年底，只有 6% 电力来自可再生能源，促使其下调 2025 年的目标至 15%。

韩国芯片制造巨头三星也面临着类似的能源消耗问题。三星在韩国拥有六个半导体制造基地，2021年占其功耗的3%。为了争取更多的客户订单来和台积电竞争，三星正在扩大对EUV的使用。该公司未公开说明拥有机器的数量。6月初，三星集团负责人JayLee前往荷兰与ASML达成新的交易。

对于芯片制造的能源消耗问题，环保组织绿色和平（Greenpeace）气候能源项目主任郑楚忻曾表示，缺电必然发生，其他行业将受其牵连。比利时微电子研究中心（Imec）Lars-AkeRagnarsson指出，在使用高耗能设备的芯片厂，再生能源变得紧急且必要。