传韩国Nextin对华供应第三代晶圆检测设备

据韩媒《TheElec》报道，Nextin在第三季度供应了第三代晶圆检测设备。这笔交易价值70亿韩元，单台设备成本为600万美元，因此这意味着Nextin可能只提供了一台设备。

Nextin的“AEGIS-DP”和“AEGIS-II”设备，以光学图像对比方式检测半导体元件制造工艺（半导体电路生成工艺）中的细微花纹缺陷（Pattern Defect）和杂质（Particle），有助于半导体元件制造商研发单位工艺技术和提升良率。

据悉，该晶圆厂设备制造商的Aegis-3是其最新设备，与Aegis-2相比，检测速度提高了30%，运算能力也提高到1.47 tflops。aegis 3产品的利润率也比前作有所提高，成本比率达到了约23%。

nextin代表Park Tae-hoon表示：“第三代设备将被运送到中国委托工厂和存储器企业。预计部分第二代订购顾客将要求升级为第三代设备。”

nextin还计划提供新产品“lesq”和“iris”。resq是用于euv工程的精巧的静电去除装置，可以去除euv等前端工程中产生的细微的静电，防止晶片图案的缺陷。iris作为三维（3d）晶片检查机器，预计将用于nand的生产。这两种设备当初的目标是今年年末交货，但由于顾客的环境认证和投资减少等原因，设备的供货被推迟到明年。

据InvestKorea资料显示，Nextin是韩国唯一的半导体检测设备专业技术企业，主要制售晶圆花纹缺陷检测设备（wafer inspection system），用以检测半导体元件电路制作工艺（前道工艺、晶圆加工）中的花纹缺陷和杂质。