月产能7万片晶圆,良率可达99%以上!中芯绍兴重要项目进入量产

中芯国际是目前国内最大的晶圆代工厂,日前又一个重要项目开始进入量产。位于绍兴的中芯绍兴开始产能爬坡到7万片晶圆/月，而且量产达到99%。

2019年11月16日，在中国（绍兴）第二届集成电路产业峰会上，中芯国际宣布，中芯绍兴项目顺利通线投片。2020年是绍兴集成电路产业平台开启全面建设的关键之年。一年多来，平台聚焦集成电路设计—制造—封装—测试—设备及应用全产业链，多措并举为打造以集成电路为核心的高能级现代产业体系厚植根基。

据了解，中芯集成电路制造（绍兴）有限公司(中芯绍兴，SMEC)成立于2018年3月，由中芯国际和绍兴集成电路产业基金联合设立，一期总投资58.8亿元，从中芯国际转移并扩建一条8英寸特殊工艺芯片生产线和模组封装生产线，提供微机电(MEMS)和功率器件(IGBT、MOSFET)芯片和模组生产服务。经营范围包括了半导体（硅及各类化合物半导体）集成电路芯片制造、针测及测试、测试封装；先进晶圆级封装；电子元器件及光学元器件研发及制造；光刻掩膜版开发制造；模具制造与加工；与集成电路、电子/光学元器件有关的开发、设计服务、技术服务；销售自产产品，并提供相关技术咨询和技术服务；从事货物及技术的进出口业务；自有设备、房屋租赁。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）

关于中芯绍兴

中芯集成电路制造（绍兴）有限公司由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立。2018年5月18日，中芯绍兴8英寸厂房项目举行奠基仪式，标志着中芯国际微机电和功率器件产业化项目正式落地绍兴。2020年1月中芯集成电路制造（绍兴）有限公司8英寸项目正式量产，产能爬坡迅速，截止目前已经完成近5万片的装机产能，还有2万片的设备正在安装调试。

中芯绍兴布局三大工艺平台：一是MEMS平台，包括MEMS麦克风、压力传感器、超声波传感器、振荡器、加速度计、陀螺仪；二是MOSFET工艺平台，包括沟槽式MOSFET、分栅式MOSFET以及超结MOSFET；三是立足场截止型（Field Stop）IGBT结构。

2020年，集成电路产业总产值突破300亿元，成为绍兴城市综合经济实力提升到全国第29位的重要动力。据了解，“万亩千亿”产业平台是浙江省全力打造的“顶配版”产业发展平台。目前，绍兴集成电路产业正秉持“建设区域IDM”核心理念，致力高水平建设“万亩千亿”新产业平台，力争2022年产值突破500亿元，2025年突破1000亿元；同时正努力争创省级集成电路产业创新中心，全力创建国家集成电路产业创新中心。