ASML60台EUV光刻机出货 每台价格超10亿元
发布时间:2023-02-22 16:33:34 阅读量:855
随着半导体工艺进入到5nm节点以内,对EUV光刻机的需求也不断增长,目前全球只有ASML一家公司能够生产EUV光刻机,今年的出货量还会进一步提升。
当然,EUV这样的光刻机主要用于先进工艺,所以全球有需求也有能力购买EUV光刻机的芯片制造商也不多,ASML CEO日前在采访中提到他们在全球有5家EUV光刻机客户。
虽然没有提到具体的名单,但是台积电、三星、Intel这三家是没跑的,他们的逻辑工艺现在都是要用到EUV光刻机的。
还有2家应该是内存芯片厂商了,三星这部分已经在14nm DRAM内存上使用EUV光刻了,SK海力士也跟进了,美光之前的表态相对保守一些,但迟早也会上EUV光刻机来生产内存芯片。
虽然只有5家客户,但是最近几年对EUV光刻机的需求提升很快,ASML预计今年会出货60台EUV光刻机,而DUV光刻机达到375台,数量依然远高于EUV。
毕竟EUV光刻机售价昂贵,单价在1.5到2亿美元,人民币超过10亿元。同时ASML还表示:2026年之前,DUV光刻机的产能将会提升到600台左右。
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