ASML表示将于年底前交付高端DUV光刻机

ICGOO在线商城 >

资讯中心 >

发布时间：2023-09-01 16:08:00 阅读量：893

近日，ASML宣布将在年底前向中国客户交付部分先进的芯片制造设备。

据美国媒体报道称，ASML已经获得荷兰官方的允许，在今年年底前向中国客户出口其部分先进工具。

ASML表示将于年底前交付高端DUV光刻机

按照ASML的说法，在2023年的剩余时间里，ASML将能继续出货其NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品，这些产品从9月1日起就受到限制。

至于2024年是不是可以继续，ASML则表示暂时不能确定。

据ASML官网提供的信息，该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍，其中在分辨率方面，写到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而这是指一次曝光的分辨率，事实上光刻机是可以进行多次曝光的。

标签： ASML 光刻机

郑重声明：本文版权归原作者所有，转载文章仅为传播更多信息之目的，如作者信息标记有误，请第一时间联系我们修改或删除，感谢您的关注！